<h2></h2>
<p>
Mikro-elektromechanické systémy (MEMS) sú najperspektívnejšia technológia pre 
optické prepájanie, nakoľko umožňujú prepínanie vysokého poÄtu vstupných a 
výstupných portov s najnižšími nákladmi na jeden port. Fyzikálne sú to 
mechanické integrované obvody, v ktorých energia požadovaná na pohyb 
jednotlivých Äastí može byť elektrostatického, elektromegnetického alebo 
termálneho pôvodu. Systémy sú vyrábané rovnakou technológiou ako polovodiÄové 
súÄiastky s využitím materiálov s výbornými mechanickými a elektrickými 
vlastnosťami (Si, SiOx, SiNx). Charakteristickými vlastnosťami MEMS sú vysoká 
rýchlosť, škálovateľnosť, nízka energetická nároÄnosť, nízke straty, 
zanedbateľný presluch a polarizaÄné efekty a nezávislosť vlnovej dĺžky od 
bitovej rýchlosti. V tejto oblasti možno pozorovať dva prístupy k architektúre 
MEMS: dvojrozmerné a trojrozmerné (2D a 3D) systémy MEMS.</p>