<h2></h2>
<p>
   
KľúÄovými parametrami výkonnosti polí MEMS sú vložené straty, hodnota presluchov, 
spätný odraz, straty závislé od polarizácie, prepínací Äas a spätné straty. 
Vložené straty závisia od dĺžky optickej cesty a nepresností pri zarovnaní 
zrkadiel a kolimátorov. Kritické sú v prípade, keÄ každá prídavná strata zvyšuje 
celkové náklady systému, nakoľko sú potrebné prídavné optické zosilňovaÄe, 
senzitívnejšie prijímaÄe a je potrebná Äastejšia regenerácia signálu. Nízke 
hodnoty straty závislej od polarizácie (polarization dependent loss - PDL) sú 
požadované kvôli minimalizácii požiadaviek na monitoring a dynamickú 
kompenzáciu. </p>
<p>
   
Prepínací Äas je definovaný ako Äas, ktorý uplynie od dodania požiadavky na 
zmenu stavu spínaÄa po okamžik, kedy vložená strata prepojenej cesty dosiahne 90 
% finálnej hodnoty. Tento Äas zahŕňa aj Äas potrebný na nastavenie zrkadla do 
príslušnej pozície. Opakovateľnosť sa definuje ako rozdiel medzi maximálnou a 
minimálnou hodnotou vloženej straty optickej cesty, keÄ príslušné zrkadlo prejde 
nasledujúcim prepínacím cyklom. </p>
<p>
   
Pre pole 8 ´ 8 maximálna hodnota vložených strát (pre všetky možné spojovacie 
cesty) sa pohybuje na úrovni 1,7 dB, pre pole 16 ´ 16 na úrovni 3,1 dB. Optický 
presluch a spätná odrazivosť je na úrovni menšej ako -50 dB. Typický prepínací 
Äas je asi 7 ms. </p>
<h2>
Spoľahlivosť systémov MEMS</h2>
<p>
   
Spoľahlivosť zariadení MEMS silne závisí od návrhu štruktúry zariadenia, ako aj 
od technológií použitých pri ich výrobe. Možno identifikovať niekoľko 
potenciálnych mechanizmov, ktoré zapríÄiňujú zlyhanie MEMS systému: mechanická 
opotrebovanosť, mechanické namáhanie, dielektrický prieraz, povrchová oxidácia, 
migrácia materiálu, strata pružnosti, prípadne kontaminácia rôznymi cudzorodými 
látkami. Niektoré z týchto mechanizmov môžu byť eliminované vhodným návrhom 
systémov, alebo umiestnením týchto zariadení vo vhodných podmienkach, zatiaľ Äo 
iné mechanizmy sa musia eliminovať už v procese výroby. Okrem vlastného 
silikónového Äipu MEMS majú veľký dopad na spoľahlivosť systému aj prídavné 
zariadenia – optické kolimátory. Pre vysokú spoľahlivosť je teda kritický vhodný 
návrh systému spolu so správnou voľbou materiálov.</p>
<p>
   
Statická spoľahlivosť digitálnych MEMS prepínaÄov vyjadruje schopnosť prepínaÄa 
zmeniť stav po tom, Äo prepínaÄ zotrval dlhší Äas v rovnakom stave (napr. 
situácia, ktorá môže nastať pri záložných optických prepínaÄoch). Dynamická 
spoľahlivosť (trvanlivosť) prepínaÄov MEMS vyjadruje schopnosť prepínaÄa vykonať 
mnoho cyklov bez náznakov degradácie. Statická aj dynamická spoľahlivosť taktiež 
silne závisí od návrhu štruktúry MEMS.</p>
<p>
   
V mechanických prepínaÄoch sa môže vyskytnúť chyba, pri ktorej sa vytvorí 
parazitická adhézna sila, ktorá bráni pohybu akÄného Älena. Adhézne sily môžu 
byť zapríÄinené rôznymi mechanizmami, vrátane kontamináciou cudzími látkami, 
vlhkosťou, van der Waalsovými príťažlivými silami, prípadne mechanickým trením 
jednotlivých súÄastí. V dvojrozmerných MEMS prepínaÄoch sa takéto chyby dajú 
eliminovať tým, že kontaktná plocha sa zredukuje na absolútne minimum a taktiež 
dodržaním prísnych podmienok pri výrobe. </p>
<p>
   
Statická spoľahlivosť opísaných systémov sa verifikovala v priebehu jedného roka 
na 4000 spojovacích elementoch. Dosiahla sa spoľahlivosť, ktorá sa dá vyjadriť 
výsledkom &lt; 37 FIT (1 FIT = 1 zlyhanie poÄas 10<sup>9</sup> prevádzkových hodín). Pre 
dynamickú spoľahlivosť sa vyžaduje 10<sup>6</sup> bezchybných prepínacích cyklov 
(ekvivalentných s cyklom každých 10 minút poÄas periódy 20 rokov). </p>
<p>
   
Aby bola táto technológia využiteľná v telekomunikaÄných systémoch, okrem 
statickej a dynamickej spoľahlivosti musia byť vykonané Äalšie testy. Ako 
referenÄné testy sa použivajú požiadavky stanovené v Telcordia Generic 
Requirements. Tieto testy sú vhodné na demonštrovanie robustnosti zariadenia za 
operaÄných podmienok. Výsledky testov potvrdzujú, že zariadenia MEMS spĺňajú 
požiadavky kladené na telekomunikaÄné systémy.</p>